A szilicid egy vegyület, a szilícium és egy vagy több fémes elemet , legalább az egyik, amely több elektropozi , mint a szilícium. Az intermetallikus szilícium-változata .
A szilicidek a boridokhoz és karbidokhoz közeli vegyületek . Mivel azonban a szilícium sokkal elektropozitívabb, mint a szén , a szilicidek sokkal közelebb állnak a boridokhoz, mint a karbidokhoz.
A szilicidek összetétele nem írható le egyszerűen molekulákként ( kovalens kötések ). A szilicidek kémiai kötései a vegyülettől függően eltérőek: lehetnek fém jellegűek , vezetőképes, kovalens vagy akár ionos vegyületeket képezhetnek . Szilicideket figyeltek meg minden fémnél, beleértve az átmenetifémeket is , a berillium kivételével .
A szilícium-oxidokban lévő szilíciumatomok különböző típusú szerveződést követnek:
Az 1. és 2. oszlop elemeinek szilicidjei, például Na 2 Si és Ca 2 Si, hevesen reagálnak a vízzel hidrogén és / vagy szilánok felszabadulása céljából . Az átmenetifém- szilicidek viszont mindenféle vizes oldatban inertek, a hidrogén-fluorid kivételével . Másrészt agresszívebb vegyületekkel reagálnak, például olvadt kálium-hidroxiddal , fluorral vagy vörösre melegített klórral .
A mikroelektronikában a szilicideket a fémek szilíciumban történő diffúziója hozza létre azzal a céllal, hogy megváltoztassa annak természetét. Ezután önbeálló szilicidről vagy szalicidről beszélünk (az önbeálló szilícium - szalicid angol ábrázolásának franciásítása ).
Ezek a bizonyos szilicidek a szilícium és egy fémréteg (vagy több különböző egymásra helyezett fém) közötti érintkezési zónákban jönnek létre, amelyeket megolvasztanak . Ezek a fém és a félvezető közötti ohmos kapcsolat javítását szolgálják, és gyakran használják az MOS / CMOS technológiában a forrás, a lefolyó és a poli-Si kapu számára.
A legtöbb szilicid szintetikus, de számos természetes úton ismert: brownleeite MnSi, gupeiite Fe 3 Si, hapkeit (en) Fe 2 Si, linzhiit FeSi 2, luobusait Fe 0,84 Si 2, mavlianovit Mn 5 Si 3, naquite FeSi, palladoszilicid Pd 2 Si, perryit (Ni, Fe) 5 (Si, P) 2, szuiszit (in) (Fe, Ni) 3 Si, xifengit (en) Fe 5 Si 3és a zangboïte TiFeSi 2. Ezek ásványok vannak besorolva a natív elemek , mint például a karbidok , nitridek és foszfidok ( I. osztályú ).