65 nm jelöli a félvezető gyártási folyamatot, amely a 90 nm-es CMOS gyártási folyamatot követi . Az első , ezzel a technológiával rendelkező processzorok 2006-ban jelentek meg a piacon.
A "Falcon" generációs Xenon processzorokat 65 nm-es technológiába vésik, valamint a 2008-ban kiadott POWER6 és Itanium 4 magokat.
Az ITRS ütemterve szerint a 65 nm-es utód a 45 nm- es technológia .