A xenon-oxi-fluorid egy kémiai vegyület a képletű generikus Xeo n F pahol n = 1, 2 vagy 3, és p = 2 vagy 4, kielégíti az egyenlőtlenséget 2 n + p ≤ 8 ( oxidációs állapota a xenon ):
Xenon-oxi-hexafluorid XeOF 6még soha nem figyelték meg és úgy tűnik, hogy nem is létezhet, a priori a szterikus akadályok ugyanazon okai miatt, mint a xenon-oktafluorid XeF 8.
Ezek az egyetlen megfigyelt xenon-oxihalidok, úgy tűnik, hogy az oxikloridok nem képesek szintetizálni.