A vákuumszivattyú egy olyan típusú szivattyú, amelyet vákuum létrehozására használnak, vagyis a levegő vagy bármely más zárt kamrában lévő gáz elszívására szolgál annak nyomásának csökkentése érdekében .
A kiürítendő gázok egyrészt azok, amelyek jelen vannak a kiürítés kezdetén (általában légköri nyomáson), másrészt azok, amelyek olyan jelenségekből származnak, mint például a vákuumfalak természetes gáztalanítása (vagy akár fűtött területek), alacsonyabb nyomásnak kitett folyadék elpárologtatása, lehetséges (valós vagy virtuális) szivárgás, az illesztések vagy falak áteresztőképessége , vagy akár a gáz szándékos bevezetése (gyártási vagy kezelési folyamatok) félvezetők például), a zsír elpárologtatása.
Különböző vákuumszivattyús rendszerek léteznek, amelyek megválasztása többek között a kívánt vákuumminőségtől is függ. A leggyakoribb technológiák a következők:
A vákuumszivattyúkat a gázfázis nem kívánt alkotóelemeitől való védelem érdekében csapdát alkalmazzák. Ez a csapda lehet hideg csapda, amely kondenzációval működik , szorpciós csapda, amely szorpcióval működik, vagy ioncsapda, amely ionizációval működik .
A vákuumszivattyú olajveszteségének csökkentése érdekében olajleválasztót használnak. Az olajból származó szennyeződések eltávolításához olajtisztítót használnak.